Uus tootmistehnoloogia võimaldab kasutada vertikaalseid 3D NAND -transistore, suurema võimsusega SSD-sid

Applied Materials on võtnud uue söövitamissüsteemi mähised, mis on mõeldud laborikatsetustest vertikaalselt laotud kolmemõõtmeliste transistoride äriliseks reaalsuseks muutmiseks. Uus Centura Avatar lahendab mitu probleemi, mis seisavad silmitsi tootjatega, kes on 3D NANDist huvitatud, kuid leiavad, et nende praegused seadmed pole nende tegeliku ehitamise ülesandeks. Kuigi me räägime täna spetsiaalselt 3D NANDist, kehtivad mitmed välkmälu skaleerimise väljakutsed ka protsessori loogika skaleerimisel.



Mõni teist võib meie meelde tuletada protsessori skaleerimislugude tulevik selle aasta algusest, kus uurisime mitmetuumaliste protsessorite trende ning tipptasemel tootmismaterjale ja -tehnikat. 3D kiibide virnastamine on järgmisel kümnendil eeldatavasti NAND-i tootmise kriitiline komponent. Oluline on mõista, et 3D-tootmist on kahte tüüpi. Üks meetod viitab tavapärase 2D tasapinnalise räni virnadele; teine ​​- millest me täna räägime - viitab 3D NAND-struktuuri tegelikult ehitamisele.

Esiteks väike kontekst.

Üldine välkkiire turg



NANDi tootmine on tohutu äri. Võti selle mõistmiseks, miks rakendatud materjalid 3D NANDi suruvad, ei ole siiski suur välgunõudluse graafik - see on väike graafik pealkirjaga “Uskumatu kulu / bitide vähendamine”. Suumime sisse.

Kulude vähendamine

100nm-lt 60nm-le liikumine vähendas kulusid peaaegu suurusjärgus. Tootjad jõudsid sellele järgmise kahe hüppe juures lähedale, 60–40 nm. Seevastu 40–20 nm liigutab vaevu latti. Pärast 20 nm lõppu kulgeb liin lihtsalt nõrgaks projektsiooniks 'Hei, me saame sellest mingil hetkel midagi!' See on tasapinnalise räni probleem ja see on teema, mida oleme varem arutanud.



Mida teete, kui te ei saa aru, kuidas tasapinnalist tootmist tõhusamalt alla 20 nm laiendada? Te mõtlete ümber tootmisprotsessi. Täpsemalt võtate tavalise 2D NANDi:

Traditsiooniline 2D NAND

Pange see üks kord kokku (oleme võtnud endale vabaduse seda vahepealset sammu NANDwichiks hüüdnime anda).



NANDwich

Ja seista serval.

3D NAND

Miks 3D NAND on raske

Rakendusmaterjalide inimeste sõnul tähendaks 3D NAND-konstruktsioonide ehitamine reaalses elus sama, kui prooviks kaevata ühe kilomeetri sügavune, kolme kilomeetri pikkune kaevik, mille seinad oleksid üksteisest täpselt kolm meetrit, läbi põimunud kivimite - ja see on enne kui arutame värava kaevikuid või trepikodasid. Tavapärased söövitamissüsteemid tegelevad kuvasuhtega 3: 1 - 4: 1, 3D-söövitamine nõuab kuvasuhet 20: 1 või rohkem - ja seda pole kerge tõmmata.

Avatari jms

Avatar on loodud sujuvate vertikaalsete külgseinte saavutamiseks ilma paindumata ja deformeerumata, sujuvalt üleminekuks vahelduvate virnakihtide vahel ja peatus õiges punktis kontaktide söövitamisel NANDi trepil. See viimane punkt on kriitiline - kui masin ei peatu täpselt õiges punktis, lööb see läbi järgmise kihi või aluspinna, rikkudes lahtrid.

3D NAND välgu valmistamise protsess

Avatari süsteem on mõeldud nii maski kui ka dielektriku üheaegseks söövitamiseks, et hoida lisavarustuse kulusid õhupallistamise ja üldise läbilaskevõime eest. Kriitiliselt võib seda kasutada ka vanemate protsessigeomeetriate eluea pikendamiseks, võimaldades tootjatel ehitada 3D NAND 40-50 nm protsessidele. Ehkki sellised struktuurid oleksid ikkagi suuremad kui 30–20 nm tehnikale ehitatud samaväärsed kiibid, tasakaalustab vertikaalsest tõusust tulenev tohutu tõhususe kasv erinevuse enam kui ära.

Mis puutub 3D-kiipide kaubanduslikuks ostmiseks, siis Applied Materials oli selles osas ebamäärane. Tõenäoliselt ei loodeta neid lähitulevikus näha. Uus Avatari varustus on kallis ja seda ei saa mütsi langedes vahetada. Oluline on see, et see annab võimaluse kulude / GB vähendamiseks ja survetiheduse suurendamiseks, tuginedes ainult uutele protsessisõlmedele või pigistades igasse NAND-lahtrisse rohkem bitte. See on märkimisväärne samm edasi, kui pooljuhitööstust pole just skaleerimisvõimaluste tõttu rikutud ja eeldame, et ettevõtted näevad lähiaastatel kasutusele uut söövitusseadet.

Copyright © Kõik Õigused Kaitstud | 2007es.com